硼是TFT-LCD玻璃中的重要組分之一,其影響貫穿玻璃的配合料制備、熔化及基板的性能。
TFT玻璃中硼元素的引入主要有硼酐、硼酸和硼酸/硼酐配比三種方式。目前,玻璃基板生產(chǎn)線多使用硼酐原料的方式引入。硼酐的價(jià)格較高,且用量大,是造成玻璃基板生產(chǎn)成本高的重要原因。
隨著玻璃基板市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)和降低成本的要求,玻璃基板生產(chǎn)中硼酸替代硼酐原料是基板線生產(chǎn)的發(fā)展趨勢(shì),但硼酸的引入在降低成本的同時(shí)也會(huì)對(duì)玻璃基板的性能產(chǎn)生影響。
為降低產(chǎn)線使用的風(fēng)險(xiǎn),通過產(chǎn)線模擬實(shí)驗(yàn)方式進(jìn)行評(píng)估,以硼酸/硼酐配比方式代替原有的硼酐作為硼的原材料的引入方式,在此基礎(chǔ)上應(yīng)用于運(yùn)行的產(chǎn)線中,研究硼酸的引入及其用量對(duì)產(chǎn)線玻璃性能的影響。
以硼酸/硼酐配比方式引入硼酸,逐步增加硼酸的用量,比例從0逐漸增加至60%。以引入硼酸時(shí)生產(chǎn)的玻璃樣品為樣本,檢測(cè)其各項(xiàng)性能參數(shù),如密度、線性熱膨脹系數(shù)、應(yīng)變點(diǎn)、退火點(diǎn)、軟化點(diǎn)、羥基含量、顯微硬度、楊氏模量、泊松比,對(duì)比引入前后玻璃性能的變化。
對(duì)硼酸引入及其用量對(duì)非晶硅TFT面板用玻璃基板性能的影響,得出如下結(jié)論:
(1)硼酸的引入對(duì)玻璃的密度、線膨脹系數(shù)、軟化點(diǎn)、維氏硬度、楊氏模量、泊松比等關(guān)鍵理化指標(biāo)沒有明顯的影響;
(2)硼酸的引入會(huì)造成玻璃基板中羥基含量的明顯增加,造成退火點(diǎn)、應(yīng)變點(diǎn)小幅降低,但降低幅度有限,對(duì)產(chǎn)品性能沒有明顯影響。當(dāng)硼酸引入量至60%,退火點(diǎn)降低約3℃,應(yīng)變點(diǎn)降低約4℃;
(3)硼酸的引入不會(huì)造成玻璃基板性能指標(biāo)的顯著變化,不影響其在非晶硅TFT面板中的應(yīng)用;
(4)玻璃基板生產(chǎn)中硼酸替代硼酐原料是可行的。
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